장비 상세보기

장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비명
Photo공정-습식처리기 (Wet Station)
모델명
제작사(국가)
㈜아티스(대한민국)
제작년도
2012
용도
생산
분류
시험장비
취득일
2012.05.25
장비설명
초음파 세척장치, 열선장치 및 DI Water 비저항 측정기를 이용한 산업용 반도체, 조명소자용 ITO 기판의 습식처리 장치
장비구성

성능
Acid Bath - 재질 : Quartz & PVC
Etchant Bath ⅹ 2개조 (투명 PVC & Quartz Bath, 열선 탑재로 식각용액 온도조절)
Developer Bath ⅹ 1개조 (PVC Bath)
QDR Rinse Bath ⅹ 1개조 (Bubble Washing / Shower Head Rinse)
Final Rinse ⅹ 1개조 (DI Water Final Rinse용, 초순수 비저항 센서 탑재)
Touch Panel 및 온도 Controller 동작
Bottle Drain 기능을 이용한 폐액 수거
전용 기판크기 : 200 mm x 200 mm

Organic Bath - 재질 : Stainless Steel
Acetone & D.I Water Bath ⅹ 2개조 (STS Bath, 초음파 세척 기능 탑재)
Stripper Bath ⅹ 1개조 (STS Bath, 열선을 이용한 온도제어)
QDR Rinse Bath ⅹ 1개조 (Bubble Washing / Shower Head Rinse)
Final Rinse ⅹ 1개조 (DI Water Final Rinse용, 초순수 비저항 센서 탑재)
Touch Panel 및 온도 Controller 동작
Bottle Drain 기능을 이용한 폐액 수거
전용 기판크기 : 200 mm ⅹ 200 mm
NTIS NO
NFEC-2013-01-173721
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
건당
이용료
설치형태
고정
설치장소
강원 철원군 서면 금강로 7194 .(재)철원플라즈마산
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화
 

주소: (24062) 강원특별자치도 철원군 서면 금강로 7194 (재)철원플라즈마산업기술연구원 TEL/033-452-9881~2 FAX/033-452-9883
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